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EC45LC |
EC60LC |
EC90LC |
EC150LC |
 外形寸法L×W×H(mm)
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450×680×960 |
600×680×960 |
900×680×960 |
1500×680×960 |
 質量
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35kg |
45kg |
60kg |
100kg |
 基板搬送方向
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右→左(左→右) |
 基板搬送基準
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手前側基準(奥側基準) |
 基板搬送高さ
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FL900±25mm |
 対象基板寸法
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Max : 400(L)×380(W)mm |
Max : 460(L)×380(W)mm |
Max : 460(L)×380(W)mm |
Max : 460(L)×380(W)mm |
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Min : 50(L)×50(W)mm |
Min : 50(L)×50(W)mm |
Min : 50(L)×50(W)mm |
Min : 50(L)×50(W)mm |
 対象基板厚み
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t = 0.5 〜 2.0mm |
 使用電源
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AC100V±10V 50/60Hz |
 塗装色
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W13 |
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