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特許出願中
クリーニングユニット付き
★基板上面・側面のゴミ・ほこりを除去
★帯電されていない基板で±50V以内
〔環境・基板により50Vを超える場合もあります〕
供給方式切り替え機能付き
★ワンタッチパネル切り替え
★下段生産基板上へのゴミ・ほこり防止
高速性
★ラック 下→上(約18秒)
★ラック 上→下(約30秒)
省スペース
★吸着装置スペース不要
操作性
★対話方式で簡単操作
★ラック初段の位置を任意設定可能
★異常発生時タッチパネルに内容表示
静音性
★タイミングベルトの採用で低振動・静音性を確保(当社比△18dB)
M
M・L兼用
M・X兼用
外形寸法L×W×H(mm)
(1
9
00)×(640)×1570
(2600)×(870)×1570
(2600)×(970)×1570
質量
145kg
199kg
215kg
クリーニングプッシャー式
○ ECU25MC
○ ECU38LC
×
クリーニング駆動式
○ ECU25MCD
×
○ ECU46XCD
マガジンストック数(上段)
2個
2個
1個
2個
1個
2個
マガジンストック数(下段)
2個
3個
2個
3個
2個
3個
マガジン昇降間隔
4段切り替え(10mmピッチ)
基板搬送方向
右→左(左→右)
基板搬送基準
手前側基準(奥側基準)
基板搬送高さ
FL900±20mm
対象基板寸法
Max : 330(L)×250(W)mm
Max : 460(L)×380(W)mm
Max : 510(L)×460(W)mm
Min : 50(L)×50(W)mm
Min : 50(L)×50(W)mm
Min : 50(L)×50(W)mm
※Min基板寸法は使用されるマガジンにより変わります。
※吸着時のMin基板寸法は100(L)×80(W)mmとなります。
対象基板厚み
t = 0.5 〜 2.0mm
使用電源
AC100V±10V 50/60Hz
使用空気圧
0.5MPa, 10NL/min
塗装色
W13
注)クリーニングユニットに関してプッシャー式はM、Lの2タイプ、駆動式はM、Xの2タイプとなります。
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