FA事業
産業機器・外観検査装置

基板供給装置(ELS…C)

基板供給装置(ELS23MC)

供給方式切替え機能付き
  • ワンタッチパネル切替え
  • 下段生産基板上へのゴミ・ほこり防止
高速性
  • ラック 下→上(約18秒)
  • ラック 下→上(約18秒)
操作性
  • 対話方式で簡単操作
  • ラック初段の位置を任意設定可能
  • 異常発生時タッチパネルに内容表示
静音性
  • タイミングベルトの採用で低振動・静音性を確保(当社比△18dB)

項目

  ELS22MC ELS23MC ELB12LC ELB23LC ELB12XC ELB23XC
M M・L兼用 M・XL兼用
外形寸法L×W×H(mm) (1700)×(640)× 1570 (2400)×(870)× 1570 (2400)×(970)× 1570
質量 154kg 199kg 214kg
マガジンストック数(上段) 2個 2個 1個 2個 1個 2個
マガジンストック数(下段) 2個 3個 2個 3個 2個 3個
マガジン昇降間隔 4段切り替え(10mmピッチ)
基板搬送方向 右→左(左→右)
基板搬送基準 手前側基準(奥側基準)
基板搬送高さ FL900±20mm
対象基板寸法 Max : 330(L)×250(W) mm Max : 460(L)×380(W) mm Max : 510(L)×460(W) mm
Min : 50(L)×50(W) mm Min : 50(L)×50(W) mm Min : 50(L)×50(W) mm
※Min基板寸法は使用されるマガジンにより変わります。
対象基板厚み t = 0.3 ~ 2.0mm
使用電源 AC100V±10V 50/60Hz
使用空気圧 0.5MPa, 10NL/min
塗装色 W13

※L・XLタイプも対応可能です。


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