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中間ストッカー ESS・・・C
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供給方式切替え機能付き
★ワンタッチパネル切替え
★下段生産基板上へのゴミ・ほこり防止
高速性
★ラック 下→上(約18秒)
★ラック 上→下(約30秒)
操作性
★対話方式で簡単操作
★ラック初段の位置を任意設定可能
★異常発生時タッチパネルに内容表示
静音性
★タイミングベルトの採用で低振動・静音性を確保(当社比△18dB)
外 形 寸 法L×W×H(mm)
M
1050×640×(1607)
質量
120kg
マガジンストック数(上段)
0個
1個
1個
2個
2個
マガジンストック数(下段)
0個
1個
2個
2個
3個
マガジン昇降間隔
4段切り替え(10mmピッチ)
基板搬送方向
右→左(左→右)
基板搬送基準
手前側基準(奥側基準)
基板搬送高さ
FL900±20mm
対象基板寸法
Min : 50(L)×50(W)mm Max : 330(L)×250(W)mm
※Min基板寸法は使用されるマガジンにより変わります。
対象基板厚み
t = 0.3 〜 2.0mm
使用電源
AC100V±10V 50/60Hz
使用空気圧
0.5MPa, 10NL/min
塗装色
W13
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